測量顯微鏡是選用用透、反射的方法對工件長度和角度作精細丈量。特別適用于錄像磁頭、大規模集成電路線寬以及其它精細零件的測驗儀器。

　　測量顯微鏡的基本原理

　　與STM類似，在AFM中，運用對微弱力較敏gan的彈性懸臂上的針尖對樣品外表作光柵式掃描。當針尖和樣品外表的間隔很接近時，針尖jian端的原子與樣品外表的原子之間存在極微弱的作用力(10-12~10-6N)，此刻，微懸臂就會發生微小的彈性形變。針尖與樣品之間的力F與微懸臂的形變之間遵從虎克定律:F=-k*x，其中，k為微懸臂的力常數。所以，只需測出微懸臂形變量的巨細，就可以取得針尖與樣品之間作用力的巨細。

　　針尖與樣品之間的作用力與間隔有強烈的依賴關系，所以在掃描過程中運用反應回路堅持針尖與樣品之間的作用力穩定，即堅持為懸臂的形變量不變，針尖就會隨樣品外表的起伏上下移動，記載針尖上下運動的軌跡即可得到樣品外表形貌的信息。這種作業形式被稱為"恒力"形式(Constant Force Mode)，是運用z廣泛的掃描方法。

　　AFM的圖畫也可以運用"恒高"形式(Constant Height Mode)來取得，也就是在X，Y掃描過程中，不運用反應回路，堅持針尖與樣品之間的間隔穩定，經過測量微懸臂Z方向的形變量來成像。這種方法不運用反應回路，可以選用更高的掃描速度，通常在觀察原子、分子像時用得比較多，而對于外表起伏比較大的樣品不適用。