光切法顯微鏡通過光切測量另一個工件加工表面的微觀粗糙度??梢耘袛辔覈鴺藴蔊B 1031-68中規定的等級▽3-▽9的表面光潔度。(表面粗糙度12.5-0.2)也可以測量表面劃痕、刻線或某些缺陷的深度。
光切法的特點是不損傷表面。這是一種間接測量方法。也就是說,只有在計算之后才能確定紋理標記的不均勻性。
光切法顯微鏡的產品特點
1.在原有儀器的基礎上,升級光學系統,進行明場成像更清楚,以避免測量讀數難以辨認的標記。
2.配有粗微動同軸調焦系統,粗動松緊可調,微動值:2μm,使尋找成像面更準確。
3.機身一體化結構,無需額外的變壓電源,作業簡單方便。
4.非接觸式測量不會損傷樣品表層,計算后確定粒痕的不平度。
光切法顯微鏡的工作原理
儀器采用光切法測量被測表面的微平面振幅。其工作原理是,狹縫被光源發出的光照射后,通過物鏡發出一條光帶,以45°的傾斜方向照射被測表面。帶有牙齒的不平整表面被一條帶有直邊的狹縫像的亮帶照亮,表面的峰在S點反射。
3.連接電源變壓器和照明燈,調節粗手輪和精手輪聚焦在測量平面上,使視野中出現清晰的狹縫圖像和表面輪廓圖像。如果狹縫邊緣圖像和表面輪廓圖像不能同時清晰調整,請輕微轉動手輪。一般情況下,請不要轉。
4.松開測微目鏡的緊固螺釘,旋轉測微目鏡,使分劃板水平,并用螺釘將其固定在該位置。此時,目鏡中十字線的移動方向與狹縫像成45°角。之后,可以測量表面輪廓的平坦度。
注意:為了正確測量圓柱體,必須同時調整工作臺和顯微鏡,使顯微鏡能準確聚焦在圓柱體頂部的母線上。因此,有必要垂直于圓柱體的軸(平行于加工條紋)移動工作臺,并且如果需要,重新聚焦顯微鏡。
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